ICS31.080.01CCSL41 团 体 标 准 T/QDASxxx—2021 二极管扩散片硼扩散液态源配方 Formulaofborondiffusionliquidsourcefordiodediffuser （征求意见稿） 2021-xx-xx发布 青岛市标准化协会发布2021-xx-xx实施 T/QDASxxx—2021 目次 前言..............................................................................II1范围..............................................................................12规范性引用文件....................................................................14试剂和材料........................................................................15仪器和设备........................................................................16三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制.....................................................17硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制.........................................................38硼扩散液态源配制..................................................................3附录A（规范性附录）附源工序硼源配制记录表..........................................5
I T/QDASxxx—2021 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。
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本文件起草单位：XXX。
本文件主要起草人：XXX。
II T/QDASxxx—2021 二极管扩散片硼扩散液态源配方 1范围 本文件规定了二极管扩散片硼扩散液态源配方的术语和定义、试剂和材料、仪器和设备、三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制、硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制和硼扩散液态源配制等内容。
本文件适用于二极管扩散片硼扩散液态源的配制。
2规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。
3.1 二极管扩散片diodediffusers二极管产品的半成品，是单晶硅经过扩散工艺后就形成了二极管扩散片。
其经过后续再加工形成二极管芯片，经过封装形成二极管成品。
注：本标准中的二极管指的是整流二极管。
4试剂和材料 除另有说明外，所用试剂均为分析纯或电子级。
a)乙二醇乙醚（C44H10O2）；b)三氧化二硼（B2O3）；c)硝酸铝（Al(NO3)3）；d)氧化铝（Al2O3）。
5仪器和设备 a)电子秤：感量0.01g；b)量筒（250mL）；c)搅拌器；d)滤纸；e)磨口瓶（400mL和800mL）。
6三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制
1 T/QDASxxx—2021 6.1配制比例 三氧化二硼：乙二醇乙醚=120g：400mL。
6.2配制过程 6.2.1用800mL磨口瓶垫滤纸放在搅拌器上，倒入乙二醇乙醚后开启搅拌器，可见瓶中心出现旋涡，如图1中a）所示。
6.2.2称三氧化二硼时电子秤应显示为
0，如图1中b)所示。
将滤纸放上后，进行“去皮”，称出配比所需的三氧化二硼后，贴磨口瓶边缘缓慢倒入，如图1中c)所示。
填写记录表，记录配制时间和人员，见附录
A。
注：电子称误差±0.01以内，电子秤平衡珠应在正中心。
6.2.3磨口瓶盖半盖，如图1中d）所示。
待瓶身不烫手后盖上瓶盖，搅拌6小时后关闭搅拌器，将三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液密封,如图1中e）所示，并记录搅拌时间。
密封后，保质期为30天，使用前应用滤纸过滤。
注：三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液使用前应沉淀6小时以上，方可使用。
a) b) c) d) e) 图1三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制
2 7硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制 T/QDASxxx—2021 7.1配制比例 硝酸铝：乙二醇乙醚=5g：50mL。
7.2配制过程 7.2.1将磨口瓶下垫滤纸放在搅拌器上，倒入乙二醇乙醚后开启搅拌器，如图2中a）所示。
7.2.2称好硝酸铝后，贴磨口瓶边缓慢倒入，并记录配置时间和人员，如图2中b）所示。
7.2.3磨口瓶盖半盖，如图2中c）所示。
待瓶身不烫手后盖上瓶盖，搅拌1小时后关闭搅拌器，将硝酸铝/乙二醇乙醚溶液密封，并记录搅拌时间。
密封后，保质期为10天，使用前应用滤纸过滤。
注：硝酸铝/乙二醇乙醚溶液使用前应沉淀1小时后方可使用。
a) b) c) d) 图2硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制 8硼扩散液态源配制
3 T/QDASxxx—20218.1配制比例 三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液：硝酸铝/乙二醇乙醚溶液：氧化铝粉=50mL:6mL:2g。
8.2配制过程8.2.1将磨口瓶放在搅拌器上，量取已经过滤好的三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液和硝酸铝/乙二醇乙醚溶液（刻度为平视刻度，并需两人确认），缓慢倒入磨口瓶内（烘干量筒），打开搅拌器，然后倒入称量好的氧化铝粉（4N:5N=1：3），盖上瓶盖，搅拌10～15分钟后使用，如图3所示。
8.2.2配置完的硼扩散液态源应在12小时内用完，且使用过程中应一直处于搅拌状态。
图3硼扩散液态源配制
4 编号： 日期 时间 T/QDASxxx—2021AA 附录A（规范性附录）附源工序硼源配制记录表 表A.1附源工序硼源配制记录表 硼液日期 源类型 NO.源比例 配制源量 作业人
5 T/QDASxxx—2021 _________________________________
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