文件No.XG*-OMV0028-
A 使用说明书使用说明书 产品名称 高真空用门阀 型式/系列/型号 XGT312-50336-**XGT313-50336-** 目录 安全注意事项
1.规格
2.型式表示
3.构造・作动
4.注意事项
5.更换零部件表
6.维护方法
7.故障与对策 附件资料・・・维修要领书 2～3456～89～1011111213～15 -1- 门阀安全注意事项 此处所示的注意事项是为了确保您能安全正确地使用本产品，预先防止对您和他人造成危害和伤害而制定的。
这些注意事项，按照危害和损伤的大小及紧急程度分为“注意”“警告”“危险”三个等级。
无论哪个等级都是与安全相关的重要内容，所以除了遵守国际规格(ISO/IEC)、日本工业规格(JIS)※1)以及其他安全法规※2)外，这些内容也请务必遵守｡ *1)ISO4414:Pneumaticfluidpower--Generalrulesrelatingtosystems ISO4413:Hydraulicfluidpower--Generalrulesrelatingtosystems IEC60204-1:Safetyofmachinery--Electricalequipmentofmachines(Part1:Generalrequirements) ISO10218-1992:Manipulatingindustrialrobots-Safety JISB8370:空气压系统通则 JISB8361:油压系统通则 JISB9960-1:机械类的安全性‐机械的电气装置（第1部:一般要求事项) JISB8433-1993:产业用操作机器人-安全性等 *2)劳动安全卫生法等 注意 误操作时，有人员受伤的风险，以及物品破损的风险｡ 警告 误操作时，有人员受到重大伤害甚至死亡的风险。
危险 在紧迫的危险状态下，如不回避会有人员受到重大伤害甚至死亡的风险｡ 警告 ①本产品的适合性由系统设计者或规格制定者来判断｡
因为本产品的使用条件多样化，所以请由系统的设计者或规格的制定者来判断系统的适合性。
必要时请通过分析和试验进行判断。
本系统的预期性能、安全性的保证由判断系统适合性的人员负责。
请在参考最新的产品样本及资料，确认规格的全部内容，且考虑到可能发生的故障的基础上构建系统。
②请具有充分知识和经验的人员使用本产品｡在此所述产品若误操作会损害其安全性。
机械·设备的组装、操作、维修等作业请由具有充分知识和经验的人进行。
③请务必在确认机械･设备的安全之后，再进行产品的使用和拆卸｡
1.机械、装置的检查及整备，应该在确认了已采取被驱动物体掉落防止措施及失控防止措施等之后进行。

2.请在确认已采取上述安全措施，并切断了能量源和设备电源以保证系统安全，在确认和理解设备上产品个别注意事项的基础上，进行产品的拆卸。

3.重新启动机械·设备时，请对意外动作·误操作采取预防措施｡ ④在下述条件和环境下使用时，请在考虑安全对策的同时，提前与本公司咨询｡
1.明确记载的规格以外的条件或环境，以及室外或阳光直射的场所。

2.用于原子能、铁路、航空、宇宙设备、船舶、车辆、军用、医疗设备、饮料•食品用设备、燃烧装置、娱乐器械、紧急切断回路、冲压机用离合器･刹车回路、安全设备等的场合，以及用于非产品手册中的标准规格的场合｡
3.预测对人身和财产有重大影响，特别是在有安全要求的场合使用时。

4.用于互锁回路时，请设置应对故障的机械式保护功能，进行双重互锁。
另外,请进行定期检查，确认是否正常作动｡
5.使用可能对设备材质造成不良影响的流体时。

6.使用对人体有害的流体时 ⑤使用对人体有害的流体,或搬运附着有害物质的产品时,请务必进行无害化处理。
-2- 门阀安全注意事项 注意 本公司产品是面向制造业提供的。
现所述的本公司产品主要面向制造业且用于和平使用的场所。
如果用于制造业以外的用途时，请与本公司联系，并根据需要更换规格书、签订合同。
如有疑问，请向附近的营业所咨询。
保证以及免责事项/适合用途的条件 本产品适用于下述“保证以及免责事项”、“适合用途的条件”。
请在确认、允许下述内容的基础上，使用本公司产品。
『保证以及免责事项』 ①本公司产品的保证期间为，从开始使用的1年内或者从购入后1.5年内。
另外产品有最高使用次数、最长行走距离、更换零件周期等要求，请与附近的营业所确认。
②保证期间内由于本公司的责任，产生明显的故障以及损伤时，将由本公司提供代替品或者进行必要的零件更换。
在此所述的保证，是指对本公司产品的保证，由于本公司产品故障诱发的其他损害，不在我们的保证范围内｡ ③请参考其他产品个别的保证及免责事项，在理解的基础上使用本产品。
『适合用途的条件』 出口海外时，请务必遵守经济产业省规定的法令(外国汇兑及外国贸易法)、手续｡ 注意 我公司产品不能作为法定计量仪器使用。

我公司制造、销售的产品没有进行各国[计量法]所指定机关的认证申请，并不是取得计量法相关型式认证试验和检定的计量器、计测器。
因此，我公司产品不能使用于各国计量法中规定的交易或以证明为目的的场合。
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1.规格开口尺寸使用压力Pa 50mm×336mm大气压～10-
6 操作压力MPa内部泄漏量 0.45～0.6O型圈材质:FKMO型圈材质:Kalrez○R4079 6.5×10-10Pa･m3/sec6.5×10-9Pa･m3/sec 逆压时内部泄漏量 O型圈材质:FKM 〈逆压力0.1MPa(abs)以下〉O型圈材质:Kalrez○R4079 6.5×10-8Pa･m3/sec6.5×10-7Pa･m3/sec 外部泄漏量 6.5×10-11Pa･m3/sec 使用温度℃ 5～150(门部)5～60(驱动部) 使用流体 惰性真空状态 作动时间s 0.6～
1 *
2 位置检测 磁性开关(D-A93) 主要真空部材质密封材 FKM 机构部材波纹管：AM350(相等的),门部:A6063,阀体:A5052P, 质 阀盖:A5052,其他:SUS304 配管尺寸 Rc1/8 排气方向 自由 安装方向 垂直 端锁机构 带端锁(无门部关闭时的密封功能) 气缸容积ℓ 0.2 重量kg 20 *1：除去常温时・气体透过。
*2：信号进入电磁阀，门部从打开状态到锁紧状态,以及门部从锁紧状态到打开的时间。
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2.型式表示 XGT312-50336-1C 磁性开关以及连接器（下表） 门阀O型圈材质1:FKM2:Kalrez○R4079Kalrez○R是DuPontPerformanceElastomers公司的注册商标。
开口窗50336：高度尺寸50mm宽度尺寸336mm 阀形式盒式2:标准型3:半开口型 轴数和密封方式1:1轴波纹管 阀尺寸3:300mm薄型对应 高真空门阀 磁性开关以及连接器 记号 磁性开关 无记号 无
A C D-A93 (带开闭2个开关)
F 连接器无导线长度:0.5m6针圆型连接口(C01630C00610012:AMP制)9针D型连接口（CDE-9PF05：广濑电机公司制） -5-
3.构造・作动 -6- 3-1作动图1A・B表示门阀搬运工件的开口○23关闭，门部○2（密封材○3）未夹紧（密封）密封面○19的状态。
图2A表示门阀打开，阀体○21的开口○23呈开放状态，表示可以搬运工件。
图2B表示与图1B同一状态，图2C表示门部○2夹紧，通过门部○2的密封材○3与密封面○19保持密封 的状态。
3-2整体构成 图1A以及图1B中，与活塞○26一体的活塞杆○8以及滚动挡板○9固定在驱动底板上○22形成一体，通过弹簧○13弹力，两者和固定在杠杆○12上的轴○18相互拉拽。
固定在滚动挡板○9的挡板○27将杠杆○12固定，从而通过弹簧○13的作用力，轴○18与滚动挡板○9能够呈一体上下移动。
轴○18上下移动时,阀体○21与外部的轴密封通过O型圈○5・○6和波纹管○7进行，阀罩ASSY与阀体的外部固定密封通过O型圈○4进行。
3-3关闭门部时（图2A⇒图2B） 通过给空气配管“CLOSE”侧（“OPEN”侧排气）加压，和活塞杆○8一体的滚动挡板○9上升。
因滚动挡板○9通过弹簧○13按压与杠杆○12一体的轴○18，杠杆○12与轴○18以及门部○2继续上升，滚轴轴承A○16进入U字型的支点槽○17并停止，阀体○21的开口○23变为关闭状态。
在图2B中，通过滚动挡板○9上的凸轮槽○10和滚轴轴承B○11固定左右位置。
通过固定在滚动挡板○9的挡板○27的导槽○15和固定在杠杆○12的导销○14可以固定左右方向的位置。
滚轴轴承B○11和挡板○27相抵，通过弹簧○13被相互推压，杠杆○12和滚动挡板○9的上下方向距离一定。
因此，从图2A门部○2打开位置向图2B门部○2关闭位置移动时，杠杆○12・轴○18・门部○2会稳定上升。
-7- 3-4夹紧（密封）时（图2B⇒图2C）滚轴轴承A○16进入支点槽○17，杠杆○12和轴○18以及门部○2停止。
活塞杆○8和滚动挡板○9推压弹簧○13的同时进一步上升，使滚轴轴承B○11依照滚动挡板○9的凸轮槽○10 的形状向右侧移动。
从而，以在支点槽○17固定位置的滚轴轴承A○16为中心，杠杆○12和轴○18以及门部○2向左侧倾斜，门部○2的O型圈○3与密封面○19夹紧，完成密封。
上下和左右位置固定的杠杆○12倾斜时，挡板○27上升，使得杠杆○12的导销○14从挡板○27的导槽○15脱离，杠杆○12的左右限制被解除，杠杆○12倾斜。
3-5解除夹紧（图2C⇒图2B） 通过对空气配管“OPEN”侧加压（“CLOSE”侧排气），滚动挡板○9下降，滚轴轴承B○11会依照凸轮槽○10的形状向左移动。
从而，以在支点槽固定位置的滚轴轴承A○16为中心，轴○18和门部○2向右侧倾斜，门部○2的夹紧解除。
此时，固定在杠杆○12的滚轴轴承B○11和固定在滚动挡板○9上的挡板○27相抵，弹簧○13弹力使上下固定的同时，固定在杠杆○12的导销○14收纳在挡板○27的导槽○15中，其上下左右方向被固定。
滚动挡板○9下降时，滚轴轴承B○11有少许的下降力作用到杠杆○12上，但受到下降力更强的弹簧○13推压，门部○2可从密封面○19呈直角分离。
3-6打开门部时（图2B⇒图2A） 夹紧（密封）解除后，门部○
2、轴○18、杠杆○12以及滚动挡板○9呈一体式下降，门部○2打开，阀体○21的开口○23被放开。
3-7端锁（省略图示） 门部的开闭位置中空气压迅速消失时，端锁的销○20突出，进入驱动底板○22的端锁槽○24，限制活塞杆○8的作动，将阀保持在空气消失前的位置。
（不保持夹紧时的气密性。
） -8-
4.注意事项 注意 4-
1.空气配管配管通口(Rc1/8)连接Rc1/8螺纹规格的快换接头或速度控制阀（调速阀）后，请轻压接头部，进 行软管配管。
请勿给接头施加过大的外力。
作动时，请通过5通2位电磁阀进行切换。
若不使用5通2位电磁阀，端锁有可能无法正常作动。
4-
2.设置连接螺钉请不要单侧拧紧，请缓慢地以均等的力矩沿对角线拧紧。
阀罩ASSY以及门阀安装中，进 行螺母的拧紧作业时，请参考维修要领书。
※设置时，请勿给阀体的密封面造成损伤。
※阀体侧面的对象侧O型圈的压缩量请控制在0.7～0.9mm。
否则会导致漏气。
4-
3.解除端锁无空气压的状态下解除端锁时，首先向保持“打开”或“闭合”位置的气孔加压，解除端锁后再切 换用于操作的阀。
另外，门阀出厂时处于闭合状态，因此请首先在闭合位置进行加压。
例：门阀为打开的状态时，请向门阀打开方向的空气配管加压，解除端锁后再进行切换。
4-
4.速度控制通过在配管连接通口安装调速阀控制开合速度时，请务必使用排气节流的调速阀。
若调速阀不使用排气节流，可能会引起阀误作动，对阀的寿命造成恶劣影响等。
4-
5.排气配管请注意避免受到来自其他阀的排气压。
否则会造成端锁的误作动。
4-
6.阀操作注意事项※因阀开闭时的作动压差在4KPa以下，所以请确认是否在规定的压差范围内后，再进行开合操作。

(1)门部打开状态门部全开时，打开侧磁性开关的指示灯灯亮。

(2)门部闭合状态门部全闭时，闭合侧磁性开关的指示灯灯亮。
-9- 警告
(3)请勿随意将手等伸入阀体的开口部内。
阀作动时，门部有可能会切断手指等。

(4)请勿取下驱动部的侧板。
作动中请勿用手触碰内部驱动部，否则可能会受伤。

(5)进行电磁阀维修时，请取下操作部的空气配管，使气缸内处于无压状态。
若不取下空气配管，驱动部有可能作动，非常危险。
注意 4-
7.更换O型圈更换阀罩ASSY、门部、阀体的O型圈时，请使用「
5．更换零部件表」中的指定零部件，充分清洁 O型槽，在O型圈无扭曲的状态下进行安装。
使用塑料治具时，以免对O型槽的密封面造成损伤。
具体内容请参考维修要领书。
请在更换后进行泄露实验。
危险 4-
8.使用后物品使用对人体有害的流体,或搬运附着有害物质的产品时,请务必进行清洗及无害化处理。
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5.更换零部件表 XGT312-50336-**专用零部件 名称 订货型号 阀体ASSY XGT300-1-1AS 适用 备注－ XGT313-50336-**专用零部件 名称 订货型号 阀体ASSY XGT300-1-1-3AS 适用 备 注 － 共通更换零部件 名称 订货型号 适用 备注 XGT311-50336A1-1用于XGT31*-50336-* -
A 阀罩ASSY XGT311-50336A1-1A用于XGT31*-50336-*
A -
A XGT311-50336A1-1C用于XGT31*-50336-*
C -
A XGT311-50336A1-1F用于XGT31*-50336-*
F -
A 门部ASSY XGT300-2-1S - 阀体O型圈（FKM） XGT300-9-10S AS568-273 门部O型圈 FKMKalrez○R4079 XGT300-9-9SXGT300-9-11S 用于XGT31*-50336-1*用于XGT31*-50336-2* AS568-271AS568-271 执行元件O型圈(FKM) XGT300-9-7S AS568-177 擦拭巾 XGT300-4-9S - 固定螺钉 XGT300-2-5S - 磁性开关ASSY 6针圆形连接口XGT300-50AS9针D型连接口XGT300-50DS 用于XGT31*-50336-*
C - 用于XGT31*-50336-*
F - 磁性开关以及连接器（内螺纹型） 名称 订货型号 插座式插头 XGT0402-9-12S 适用用于XGT31*-50336-*
C 备注 C01630D00610012(AMP)
6.保养方法 警告 请参考附件资料的阀维修要领书。
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7.故障与对策 状况门部内部泄露 原因判断操作压力低空气压低时（端锁作动）门部密封面损伤腔室侧密封面损伤使用中O型圈劣化O型圈扭曲O型圈前端凹凸 外部泄露 门部不闭合 门部不打开 开关不作动阀罩ASSY处有空气泄露 阀罩ASSY劣化波纹管损伤使用中O型圈劣化密封面损伤端锁作动操作压力低阀罩ASSY劣化端锁作动操作压力低阀罩ASSY劣化磁性开关错位开关故障连接部松动活塞密封圈磨损 ※因更换波纹管需要拆分产品，请联系本公司。
对策等 确保在0.45MPa以上 即使端锁作动，也不保持门阀部 的气密性。
更换门部 研磨或者更换阀体 更换、变更合适材质的O型圈 重装、修正O型圈 将凸部放入凹槽,确保O型圈的高 度均
一。
更换阀罩ASSY 更换波纹管 ※ 更换材质合适的O型圈 密封面的研磨 请参考注意事项4-
3。
0.45MPa以上 更换阀罩ASSY 请参考注意事项4-
3。
0.45MPa以上 更换阀罩ASSY 调整作动范围 更换开关 更换阀罩ASSY 更换阀罩ASSY -12-
A -13- -14- -15- RevisionhistoryA版:阀罩ASSY订货型号変更 2021.11 4-14-
1,Sotokanda,Chiyoda-ku,Tokyo101-0021JAPANTel:+81352078249Fax:+81352985362URL Note:Specificationsaresubjecttochangewithoutpriornoticeandanyobligationonthepartofthemanufacturer.©2021SMCCorporationAllRightsReserved