目录
1概述
01
2技术说明
03
3使用说明
06
4运行故障分析
13
5安全使用规范
15
磁悬浮分子泵说明书
1.概述 1.1型号组成及含义 如标号“CXF-200/1400”表示口径为200mm，额定抽速为1400(l/s)的磁悬浮分子泵。
1.2工作条件 CXF 口径 抽速 磁悬浮分子泵只在分子流域有较好抽速（连续入口压强小于5Pa），且要求前级排气口压强保持在10Pa以下，因此必须配置合理的前级泵（无油），并使用与之相匹配的KYKY磁悬浮分子泵控制器。
1.3装箱单 在打开包装箱后，请仔细核对箱内磁悬浮分子泵及其附件。
表1-1磁悬浮分子泵及控制器装箱单（一） 序号 名称 规格 数量 1磁悬浮分子泵及控制器CCXXF-F2-0205/01/4203000或
1 2 市电连接电缆 1m
1 3 强电控制电缆 2.5m
1 4 弱电控制电缆 2.5m
1 5 使用说明书
1 6 检验合格证
1 7 保修卡
1 类型CXF-200/1400型（卡钳）CXF-200/1400型（螺栓） CXF-200/1400型（刀口）CXF-250/2300型（卡钳）CXF-250/2300型（螺栓） CXF-250/2300型（刀口） 表1-2磁悬浮分子泵及控制器装箱单（二） 名称 规格 数量 中心支架（铝） LF200
1 氟胶圈 Φ218×5.3F
1 卡钳 M10
8 中心支架（铝） LF200
1 氟胶圈 Φ218×5.3F
1 活套法兰带钢丝圈 LF250
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 12 螺母（不锈钢） M10 12 密封铜圈 CF200
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 24 螺母（不锈钢） M10 24 中心支架（铝） LF250
1 氟胶圈 Φ265×5.3F
1 卡钳 M10
8 中心支架（铝） LF250
1 氟胶圈 Φ265×5.3F
1 活套法兰带钢丝圈 LF250
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 12 螺母（不锈钢） M10 12 密封铜圈 CF250
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 32 螺母（不锈钢） M10 32 单位 套 根根根份份份 单位个个个个个个个个个个个个个个个个个个个个个个 01 磁悬浮分子泵说明书 1.4配件选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 序号 名称 适用规格 数量 单位 1磁悬浮分子泵加热器CXF-200/14001套CXF-250/2300 2CF铜垫圈DN2501个DN200 1.5运输与保存1.5.1运输分子泵出厂时，包装在包装箱内。
运输过程中，要轻拿轻放，严禁强震、雨淋、严寒和暴晒。
1.5.2保存泵及控制器在开箱前应贮存在干燥、通风、无腐蚀性气体的房屋内，防止雨淋、严寒和暴晒。
贮存环境温度-20～+55˚C；相对湿度不超过95%。
1.5.3搬动在打开包装箱后搬动过程中，注意保护泵的高真空密封接口、前级接口、水嘴、控制器接口等易损坏部位。
警告a)仅在将泵放置于所装系统前时，打开泵的密封盖；b)泵的前级接口、水嘴、控制器接口等突出部位不能做为搬运把手；c)搬运时，注意保护泵的高真空接口、前级接口，避免划伤。
02 磁悬浮分子泵说明书 2技术说明 2.1安装尺寸图（单位：mm）2.1.1分子泵安装尺寸图系列磁悬浮分子泵包括CXF-200/1400、CXF-250/2300两型。
图2-1CXF-200/1400型安装简图 图2-2CXF-250/2300型安装简图03 2.1.2控制器外形尺寸图 磁悬浮分子泵说明书 2.2抽速曲线 图2-3控制器简图 图2-4磁悬浮分子泵抽速曲线04 磁悬浮分子泵说明书 2.3分子泵技术性能 型号抽气速率（l/s） 压缩比极限压强建议启动压强排气口法兰 进气口法兰 额定转速（rpm）启动时间（min） 振动值（μm）建议前级泵（l/s） 水嘴安装方式冷却方式冷却水温度（˚C）冷却水流量（l/min）冷却水压力（mpa）环境温度（˚C）重量（kg） 表2-1磁悬浮分子泵技术参数表 CXF-200/14001400 N2：107≦2×10-
6 <5PaKF40DN200LFDN200CF30000 11<0.05 15内径Φ10直插自密封 竖直、水平、倒立水冷2010.15 5～4547 2.4控制器技术性能 表2-2磁悬浮分子泵控制器技术参数表 输入电压（V）频率（Hz） 输入功率（W）最大加速电压（V）最大加速电流（A） 输出功率（W）使用环境温度（˚C） 环境湿度 CXF-250/23002300 N2：107≦2×10-
7 <5PaKF40DN250LFDN250CF27000 11<0.05 15内径Φ10直插自密封 竖直、水平、倒立水冷2010.15 5～4558 220±2050 1000110108005～45≦85% 05 磁悬浮分子泵说明书 3使用说明 3.1控制器面板功能介绍3.1.1参数设置下图为控制器前面板示意图。
中央为一块液晶屏，以显示运行数据。
有四个按键以控制起停和设置有关参数。
四个LED灯显示系统运行状态。
图3-1面板示意图开机时，“电源”灯亮。
液晶屏显示如下，电压值（约4.5V）可能有所不同。
“CXF××××”表示泵的型号，如显示“CXF1400”，表示当前连接CXF-200/1400型磁悬浮分子泵。
图3-2开机示意图当需要设置参数时，按“Set”键，可以设置加热温度、目标转速、控制器ID、波特率，以及对分子泵自检。
06 磁悬浮分子泵说明书 磁悬浮分子泵说明书 图3-3设置示意图
（1）自检设置“自检”功能是分子泵初次安装状态的检查，安装好后初始自检一次即可，正常使用中分子泵的“起/停”无需再自检。
自检的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“自检”菜单，当“自检”菜单高亮时，再按“Set”键开始自检。
★自检结束后，液晶屏上会显示“自检完成”，同时蜂鸣器响，此时关闭控制器总电源后重开电源即可正常使用。
注：在分子泵正常运行过程中，无法使用“自检”功能。
“自检”功能仅在分子泵尚未升速、转速为0时允许使用。
（2）485通讯波特率设置设置控制器485通讯波特率的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“波特率”菜单，当“波特率”菜单高亮时，按“Set”键对波特率进行设置。
★按“▲”或“▼”键，波特率可选2400、4800、9600、19200、38400、57600和115200等七个选项。
按“Set”键对波特率设置进行确认。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：如不做更改，则默认波特率为9600。
波特率修改后即写入控制器内存储器，直到下次重新修改，否则不会更变。
07
（3）控制器ID号设置设置控制器ID号的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“ID”菜单，当“ID”菜单高亮时，按“Set”键对控制器ID号进行设置。
★按“▲”或“▼”键，对ID值进行设定，再按“Set”键对ID进行确认。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：如不做修改，则默认ID为16。
在多台分子泵同时工作时，上位机可通过查询控制器ID号区分不同泵。
控制器ID号修改后即存入控制器内存储器中，直到下次修改才会改变。
（4）分子泵转速设置设置分子泵转速的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“转速”菜单，当“转速”菜单高亮时，按“Set”键对目标转速进行设置。
★按“▲”或“▼”键，对目标转速进行设定，再按“Set”键确认转速。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：分子泵的转速可在半速至额定转速范围内根据需要进行调整，但不能超过额定转速（CXF-250/2300泵额定转速为450Hz，CXF-200/1400泵额定转速为500Hz）。
目标转速只在本次设定有效，当重启控制器总电源后目标转速恢复为额定转速。
（5）分子泵加热温度设置设置分子泵加热温度的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“加热”菜单，当“加热”菜单高亮时，按“Set”键对加热温度进行设置。
★按“▲”或“▼”键，对加热温度进行设定，再按“Set”键确认加热设置。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：加热功能是在分子泵需自加热时设置加热温度，未配置此项功能时无需设置。
08 磁悬浮分子泵说明书 磁悬浮分子泵说明书 3.1.2运行状态显示按控制器前面板上的“起/停”键，磁悬浮分子泵将开始启动，“运行”灯亮。
到达额定转速后显示如下。
图3-4面板第一页示意图按“▼”键进入面板第二页，显示上、下端轴心径向和轴向位置偏差量，数值范围是0—99，数值前可显示“+”、“-”符号，表示转子偏移的方向。
右下角出现“64”时，表示此时转子的悬浮状态好。
图3-5面板第二页示意图按“▼”键进入面板第三页，显示电机温度、泵体温度和加热温度。
09 图3-6面板第三页示意图按“▼”键进入面板第四页，显示分子泵运行的总时间、泵出现故障时的代码。
图3-7面板第四页示意图 当分子泵出现故障时，蜂鸣器会持续发出报警声，按“▼”键可以关闭蜂鸣器的报警声，用户可以根据显示屏上显示的故障代码查阅故障代码表，获知不同故障的不同处理方法。
表3-1磁悬浮分子泵常见故障代码及处理方法 故障码12481020 40 80200300 检测内容霍尔信号错误分子泵泵体过热电机定子过热磁轴承检测不到霍尔信号电机板到显示板通讯错误DSP板到电机板通讯错误 磁轴承起浮状态不正常 电机过载控制器过流保护欠压或者停电 处理措施联系厂家维修 检查冷却水供给是否正常，系统是否漏气 保护动作停机、报警（电机停止驱动） 联系厂家维修 重新上电自检，尝试几次后仍不成功则联系厂家维修 停机重启，检查系统是否漏气停机重启，检查系统是否漏气 电网稳定后再重启 停机、报警（电机发电维持转子悬浮） 10 磁悬浮分子泵说明书 3.2控制器对外通讯接口 123456789101112131415 图3-8磁悬浮分子泵控制器通讯接头管脚定义图 磁悬浮分子泵控制器目前有两种控制方式，即外控方式和485通讯（RTU格式）。
485通讯默认通讯频率是9600，该频率可以在显示面板上通过“Set”键修改。
外控方式和485通讯共用15针接头，其中外控方式使用接头的1,2,3,4,5,8针，485通讯使用接头的14和15针，具体定义如下： 针脚1、23、4 581415 表3-2通讯接头定义表 定义正常信号，继电器输出，转速达到额定转速时常开触点闭合故障信号，继电器输出，分子泵或控制器出现故障时常开触点闭合 信号地外部控制起动、停止，与地闭合为启动，打开为停止。
外界控制信号为开关量或TTL电平 485B485A+ 磁悬浮分子泵说明书 3.3分子泵的启动与停机3.3.1启动
（1）打开控制器后面板上的电源开关，控制面板显示数据正常。
如图3-2所示（电压值可能有所不同）。
（2）打开前级泵，真空腔体内压强小于5Pa后，按“起/停”键启动分子泵电机，“运行”灯亮，分子泵加速至额定转速。
3.3.2停机
（1）按“起/停”键电机停止驱动，“运行”灯灭，分子泵开始降速。
（2）分子泵转速降到0Hz后，关闭控制器总电源。
（3）关闭前级泵。
（4）关闭冷却水。
图3-9通讯接口位置示意图 11 12 磁悬浮分子泵说明书 4运行故障分析 4.1故障灯亮
（1）打开控制器电源时，“故障”灯亮并发出报警声，应先关闭电源后重新开。
如果重启电源多次仍排除不了故障，按控制器面板上的“▼”键到最后一页查看显示的故障码，将故障码记下后告知生产厂家。
（2）分子泵运行过程中“故障”灯亮并发出报警声，按控制器面板上的“▼”键到最后一页查看显示的故障码，将故障码记下后告知生产厂家。
切记泵在运行时发生故障的情况下，不可关闭控制器电源。
图4-1故障码示意图4.2注意灯亮
（1）打开控制器电源时，“注意”灯亮，检查冷却水是否正常，按控制器面板上的“▼”键到第三页查看电机与泵体的温度是否过高（电机温度>85˚
C，泵体温度>60˚C时报警），冷却水通上情况下，待电机与泵体温度降低后重启电源即可。
（2）分子泵在运行过程中“注意”灯亮，泵会自动降速停止运行，应检查冷却水是否通上，并查看电机与泵体温度。
（3）如果“注意”灯亮，冷却水正常，重启电源多次控制器“注意”灯仍亮，应联系生产厂家。
13 磁悬浮分子泵说明书 图4-2温度示意图警告在分子泵运行过程中，控制器出现故障灯亮或者注意灯亮时，禁止关闭电源，须在分子泵自行降速到0Hz后才可关电源。
4.3启动后达不到转速或自动降速
（1）分子泵启动15分钟后速度仍达不到额定转速，可能为泵的负载过大，应检查前级泵是否正常工作或前级管道、前级密封、真空腔与分子泵本身是否漏气。
（2）泵运行过程中，“运行”灯亮，但出现电流为零同时转速下降，此时按“起/停”键，“运行”灯熄灭后，再按“起/停”键重新升速，此时“运行”灯亮，看转速是否上升到额定转速。
如果没有，应检查真空腔或泵是否漏气。
如果此现象反复出现，关机并联系生产厂家。
4.4泵运行时产生较大的振动和噪声分子泵在运行时激烈振动并发出很大噪声时，应查看控制器上故障灯是否亮以及故障代码是多少。
记住故障代码后，此时只需按“起/停”键关闭运行，等待泵自行停机，切勿拔掉电源插头。
关机后请联系生产厂家。
警告在分子泵运行过程中，转子悬浮状态失稳并跌落到保护轴承上时，禁止关闭控制器电源或者拔掉电缆等操作，此时分子泵会自动停机，须在分子泵自行降速到0Hz后才可关闭控制器后面板的主电源开关。
4.5其它故障如遇其它问题或需要提供技术支持，请致电生产厂家。
14 磁悬浮分子泵说明书 5安全使用规范
(1)正常运行时，禁止对泵进行碰撞、敲击等。
避免泵在高速运转时突然暴露大气。
(2)泵在运行过程中，如果遇到电网断电，此时不需要对泵进行任何操作，泵会保持悬浮状态并自行降速（控制器自带发电功能）。
当降到80Hz左右，转子自动跌落到保护轴承上，此时会出现小的撞击声（正常现象），待泵完全停机后，恢复供电并重新启动即可。
(3)控制器通电前，必须确认电源插座地线接地良好（三相电源的地线端口不能接零线，只能接地），并且输入电源电压为220V。
(4)勿将螺丝刀、螺丝等金属物掉入控制器内，不要堵塞控制器的散热孔。
(5)勿将控制器安装在阳光照射的地方，严禁将控制器安装在有易燃易爆气体的场所，否则可能引起爆炸。
(6)非分子泵生产厂家合格的专业维修人员，切勿对控制器进行安装、配线及操作、维护等。
(7)实施配线或维护前，务必先关闭电源。
(8)在磁悬浮分子泵停止转动以后，才可以关闭电源。
(9)控制器前面板上的“起/停”键，不能切断电源，因此不能作为安全键使用，只有控制器后面板上的电源开关关闭才能切断电源。
(10)切断电源后的短时间（10分钟）内或直流母线电压高于36V时，不要进行维修操作，切勿触摸内部电路及器件。
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1.概述 1.1型号组成及含义 如标号“CXF-200/1400”表示口径为200mm，额定抽速为1400(l/s)的磁悬浮分子泵。
1.2工作条件 CXF 口径 抽速 磁悬浮分子泵只在分子流域有较好抽速（连续入口压强小于5Pa），且要求前级排气口压强保持在10Pa以下，因此必须配置合理的前级泵（无油），并使用与之相匹配的KYKY磁悬浮分子泵控制器。
1.3装箱单 在打开包装箱后，请仔细核对箱内磁悬浮分子泵及其附件。
表1-1磁悬浮分子泵及控制器装箱单（一） 序号 名称 规格 数量 1磁悬浮分子泵及控制器CCXXF-F2-0205/01/4203000或
1 2 市电连接电缆 1m
1 3 强电控制电缆 2.5m
1 4 弱电控制电缆 2.5m
1 5 使用说明书
1 6 检验合格证
1 7 保修卡
1 类型CXF-200/1400型（卡钳）CXF-200/1400型（螺栓） CXF-200/1400型（刀口）CXF-250/2300型（卡钳）CXF-250/2300型（螺栓） CXF-250/2300型（刀口） 表1-2磁悬浮分子泵及控制器装箱单（二） 名称 规格 数量 中心支架（铝） LF200
1 氟胶圈 Φ218×5.3F
1 卡钳 M10
8 中心支架（铝） LF200
1 氟胶圈 Φ218×5.3F
1 活套法兰带钢丝圈 LF250
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 12 螺母（不锈钢） M10 12 密封铜圈 CF200
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 24 螺母（不锈钢） M10 24 中心支架（铝） LF250
1 氟胶圈 Φ265×5.3F
1 卡钳 M10
8 中心支架（铝） LF250
1 氟胶圈 Φ265×5.3F
1 活套法兰带钢丝圈 LF250
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 12 螺母（不锈钢） M10 12 密封铜圈 CF250
1 双头螺栓（不锈钢） M10×45 32 螺母（不锈钢） M10 32 单位 套 根根根份份份 单位个个个个个个个个个个个个个个个个个个个个个个 01 磁悬浮分子泵说明书 1.4配件选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 序号 名称 适用规格 数量 单位 1磁悬浮分子泵加热器CXF-200/14001套CXF-250/2300 2CF铜垫圈DN2501个DN200 1.5运输与保存1.5.1运输分子泵出厂时，包装在包装箱内。
运输过程中，要轻拿轻放，严禁强震、雨淋、严寒和暴晒。
1.5.2保存泵及控制器在开箱前应贮存在干燥、通风、无腐蚀性气体的房屋内，防止雨淋、严寒和暴晒。
贮存环境温度-20～+55˚C；相对湿度不超过95%。
1.5.3搬动在打开包装箱后搬动过程中，注意保护泵的高真空密封接口、前级接口、水嘴、控制器接口等易损坏部位。
警告a)仅在将泵放置于所装系统前时，打开泵的密封盖；b)泵的前级接口、水嘴、控制器接口等突出部位不能做为搬运把手；c)搬运时，注意保护泵的高真空接口、前级接口，避免划伤。
02 磁悬浮分子泵说明书 2技术说明 2.1安装尺寸图（单位：mm）2.1.1分子泵安装尺寸图系列磁悬浮分子泵包括CXF-200/1400、CXF-250/2300两型。
图2-1CXF-200/1400型安装简图 图2-2CXF-250/2300型安装简图03 2.1.2控制器外形尺寸图 磁悬浮分子泵说明书 2.2抽速曲线 图2-3控制器简图 图2-4磁悬浮分子泵抽速曲线04 磁悬浮分子泵说明书 2.3分子泵技术性能 型号抽气速率（l/s） 压缩比极限压强建议启动压强排气口法兰 进气口法兰 额定转速（rpm）启动时间（min） 振动值（μm）建议前级泵（l/s） 水嘴安装方式冷却方式冷却水温度（˚C）冷却水流量（l/min）冷却水压力（mpa）环境温度（˚C）重量（kg） 表2-1磁悬浮分子泵技术参数表 CXF-200/14001400 N2：107≦2×10-
6 <5PaKF40DN200LFDN200CF30000 11<0.05 15内径Φ10直插自密封 竖直、水平、倒立水冷2010.15 5～4547 2.4控制器技术性能 表2-2磁悬浮分子泵控制器技术参数表 输入电压（V）频率（Hz） 输入功率（W）最大加速电压（V）最大加速电流（A） 输出功率（W）使用环境温度（˚C） 环境湿度 CXF-250/23002300 N2：107≦2×10-
7 <5PaKF40DN250LFDN250CF27000 11<0.05 15内径Φ10直插自密封 竖直、水平、倒立水冷2010.15 5～4558 220±2050 1000110108005～45≦85% 05 磁悬浮分子泵说明书 3使用说明 3.1控制器面板功能介绍3.1.1参数设置下图为控制器前面板示意图。
中央为一块液晶屏，以显示运行数据。
有四个按键以控制起停和设置有关参数。
四个LED灯显示系统运行状态。
图3-1面板示意图开机时，“电源”灯亮。
液晶屏显示如下，电压值（约4.5V）可能有所不同。
“CXF××××”表示泵的型号，如显示“CXF1400”，表示当前连接CXF-200/1400型磁悬浮分子泵。
图3-2开机示意图当需要设置参数时，按“Set”键，可以设置加热温度、目标转速、控制器ID、波特率，以及对分子泵自检。
06 磁悬浮分子泵说明书 磁悬浮分子泵说明书 图3-3设置示意图
（1）自检设置“自检”功能是分子泵初次安装状态的检查，安装好后初始自检一次即可，正常使用中分子泵的“起/停”无需再自检。
自检的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“自检”菜单，当“自检”菜单高亮时，再按“Set”键开始自检。
★自检结束后，液晶屏上会显示“自检完成”，同时蜂鸣器响，此时关闭控制器总电源后重开电源即可正常使用。
注：在分子泵正常运行过程中，无法使用“自检”功能。
“自检”功能仅在分子泵尚未升速、转速为0时允许使用。
（2）485通讯波特率设置设置控制器485通讯波特率的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“波特率”菜单，当“波特率”菜单高亮时，按“Set”键对波特率进行设置。
★按“▲”或“▼”键，波特率可选2400、4800、9600、19200、38400、57600和115200等七个选项。
按“Set”键对波特率设置进行确认。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：如不做更改，则默认波特率为9600。
波特率修改后即写入控制器内存储器，直到下次重新修改，否则不会更变。
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（3）控制器ID号设置设置控制器ID号的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“ID”菜单，当“ID”菜单高亮时，按“Set”键对控制器ID号进行设置。
★按“▲”或“▼”键，对ID值进行设定，再按“Set”键对ID进行确认。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：如不做修改，则默认ID为16。
在多台分子泵同时工作时，上位机可通过查询控制器ID号区分不同泵。
控制器ID号修改后即存入控制器内存储器中，直到下次修改才会改变。
（4）分子泵转速设置设置分子泵转速的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“转速”菜单，当“转速”菜单高亮时，按“Set”键对目标转速进行设置。
★按“▲”或“▼”键，对目标转速进行设定，再按“Set”键确认转速。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：分子泵的转速可在半速至额定转速范围内根据需要进行调整，但不能超过额定转速（CXF-250/2300泵额定转速为450Hz，CXF-200/1400泵额定转速为500Hz）。
目标转速只在本次设定有效，当重启控制器总电源后目标转速恢复为额定转速。
（5）分子泵加热温度设置设置分子泵加热温度的操作步骤为：★按“Set”键进入设置页面，如图3-3所示。
★按“▲”键选择“加热”菜单，当“加热”菜单高亮时，按“Set”键对加热温度进行设置。
★按“▲”或“▼”键，对加热温度进行设定，再按“Set”键确认加热设置。
★按“▼”键选择“退出”，“退出”菜单高亮时按“Set”键确认退出。
注：加热功能是在分子泵需自加热时设置加热温度，未配置此项功能时无需设置。
08 磁悬浮分子泵说明书 磁悬浮分子泵说明书 3.1.2运行状态显示按控制器前面板上的“起/停”键，磁悬浮分子泵将开始启动，“运行”灯亮。
到达额定转速后显示如下。
图3-4面板第一页示意图按“▼”键进入面板第二页，显示上、下端轴心径向和轴向位置偏差量，数值范围是0—99，数值前可显示“+”、“-”符号，表示转子偏移的方向。
右下角出现“64”时，表示此时转子的悬浮状态好。
图3-5面板第二页示意图按“▼”键进入面板第三页，显示电机温度、泵体温度和加热温度。
09 图3-6面板第三页示意图按“▼”键进入面板第四页，显示分子泵运行的总时间、泵出现故障时的代码。
图3-7面板第四页示意图 当分子泵出现故障时，蜂鸣器会持续发出报警声，按“▼”键可以关闭蜂鸣器的报警声，用户可以根据显示屏上显示的故障代码查阅故障代码表，获知不同故障的不同处理方法。
表3-1磁悬浮分子泵常见故障代码及处理方法 故障码12481020 40 80200300 检测内容霍尔信号错误分子泵泵体过热电机定子过热磁轴承检测不到霍尔信号电机板到显示板通讯错误DSP板到电机板通讯错误 磁轴承起浮状态不正常 电机过载控制器过流保护欠压或者停电 处理措施联系厂家维修 检查冷却水供给是否正常，系统是否漏气 保护动作停机、报警（电机停止驱动） 联系厂家维修 重新上电自检，尝试几次后仍不成功则联系厂家维修 停机重启，检查系统是否漏气停机重启，检查系统是否漏气 电网稳定后再重启 停机、报警（电机发电维持转子悬浮） 10 磁悬浮分子泵说明书 3.2控制器对外通讯接口 123456789101112131415 图3-8磁悬浮分子泵控制器通讯接头管脚定义图 磁悬浮分子泵控制器目前有两种控制方式，即外控方式和485通讯（RTU格式）。
485通讯默认通讯频率是9600，该频率可以在显示面板上通过“Set”键修改。
外控方式和485通讯共用15针接头，其中外控方式使用接头的1,2,3,4,5,8针，485通讯使用接头的14和15针，具体定义如下： 针脚1、23、4 581415 表3-2通讯接头定义表 定义正常信号，继电器输出，转速达到额定转速时常开触点闭合故障信号，继电器输出，分子泵或控制器出现故障时常开触点闭合 信号地外部控制起动、停止，与地闭合为启动，打开为停止。
外界控制信号为开关量或TTL电平 485B485A+ 磁悬浮分子泵说明书 3.3分子泵的启动与停机3.3.1启动
（1）打开控制器后面板上的电源开关，控制面板显示数据正常。
如图3-2所示（电压值可能有所不同）。
（2）打开前级泵，真空腔体内压强小于5Pa后，按“起/停”键启动分子泵电机，“运行”灯亮，分子泵加速至额定转速。
3.3.2停机
（1）按“起/停”键电机停止驱动，“运行”灯灭，分子泵开始降速。
（2）分子泵转速降到0Hz后，关闭控制器总电源。
（3）关闭前级泵。
（4）关闭冷却水。
图3-9通讯接口位置示意图 11 12 磁悬浮分子泵说明书 4运行故障分析 4.1故障灯亮
（1）打开控制器电源时，“故障”灯亮并发出报警声，应先关闭电源后重新开。
如果重启电源多次仍排除不了故障，按控制器面板上的“▼”键到最后一页查看显示的故障码，将故障码记下后告知生产厂家。
（2）分子泵运行过程中“故障”灯亮并发出报警声，按控制器面板上的“▼”键到最后一页查看显示的故障码，将故障码记下后告知生产厂家。
切记泵在运行时发生故障的情况下，不可关闭控制器电源。
图4-1故障码示意图4.2注意灯亮
（1）打开控制器电源时，“注意”灯亮，检查冷却水是否正常，按控制器面板上的“▼”键到第三页查看电机与泵体的温度是否过高（电机温度>85˚
C，泵体温度>60˚C时报警），冷却水通上情况下，待电机与泵体温度降低后重启电源即可。
（2）分子泵在运行过程中“注意”灯亮，泵会自动降速停止运行，应检查冷却水是否通上，并查看电机与泵体温度。
（3）如果“注意”灯亮，冷却水正常，重启电源多次控制器“注意”灯仍亮，应联系生产厂家。
13 磁悬浮分子泵说明书 图4-2温度示意图警告在分子泵运行过程中，控制器出现故障灯亮或者注意灯亮时，禁止关闭电源，须在分子泵自行降速到0Hz后才可关电源。
4.3启动后达不到转速或自动降速
（1）分子泵启动15分钟后速度仍达不到额定转速，可能为泵的负载过大，应检查前级泵是否正常工作或前级管道、前级密封、真空腔与分子泵本身是否漏气。
（2）泵运行过程中，“运行”灯亮，但出现电流为零同时转速下降，此时按“起/停”键，“运行”灯熄灭后，再按“起/停”键重新升速，此时“运行”灯亮，看转速是否上升到额定转速。
如果没有，应检查真空腔或泵是否漏气。
如果此现象反复出现，关机并联系生产厂家。
4.4泵运行时产生较大的振动和噪声分子泵在运行时激烈振动并发出很大噪声时，应查看控制器上故障灯是否亮以及故障代码是多少。
记住故障代码后，此时只需按“起/停”键关闭运行，等待泵自行停机，切勿拔掉电源插头。
关机后请联系生产厂家。
警告在分子泵运行过程中，转子悬浮状态失稳并跌落到保护轴承上时，禁止关闭控制器电源或者拔掉电缆等操作，此时分子泵会自动停机，须在分子泵自行降速到0Hz后才可关闭控制器后面板的主电源开关。
4.5其它故障如遇其它问题或需要提供技术支持，请致电生产厂家。
14 磁悬浮分子泵说明书 5安全使用规范
(1)正常运行时，禁止对泵进行碰撞、敲击等。
避免泵在高速运转时突然暴露大气。
(2)泵在运行过程中，如果遇到电网断电，此时不需要对泵进行任何操作，泵会保持悬浮状态并自行降速（控制器自带发电功能）。
当降到80Hz左右，转子自动跌落到保护轴承上，此时会出现小的撞击声（正常现象），待泵完全停机后，恢复供电并重新启动即可。
(3)控制器通电前，必须确认电源插座地线接地良好（三相电源的地线端口不能接零线，只能接地），并且输入电源电压为220V。
(4)勿将螺丝刀、螺丝等金属物掉入控制器内，不要堵塞控制器的散热孔。
(5)勿将控制器安装在阳光照射的地方，严禁将控制器安装在有易燃易爆气体的场所，否则可能引起爆炸。
(6)非分子泵生产厂家合格的专业维修人员，切勿对控制器进行安装、配线及操作、维护等。
(7)实施配线或维护前，务必先关闭电源。
(8)在磁悬浮分子泵停止转动以后，才可以关闭电源。
(9)控制器前面板上的“起/停”键，不能切断电源，因此不能作为安全键使用，只有控制器后面板上的电源开关关闭才能切断电源。
(10)切断电源后的短时间（10分钟）内或直流母线电压高于36V时，不要进行维修操作，切勿触摸内部电路及器件。
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